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硅片熱處理的意義及用到的熱處理回轉窯

發布日期:2022-12-06 13:53:38 瀏覽次數:130

硅片退火熱處理處理,是工藝的一個環節。是按一定的程序對硅片進行升溫、降溫......的過程;
為什么要進行退火?原因之一是,硅片中含有氧,氧有吸取雜質的作用。退火時可以將硅片表面附近的氧,從其表面揮發脫除,使表面附近的雜質數量減少。有利于器件的制造。

下面介紹下我公司的硅片熱處理回轉窯設備


產品名稱:硅片處理回轉爐 硅片熱處理回轉窯 硅片燒結回轉爐

一、概述

  硅片燒結爐,中式連續式生產型回轉窯爐主要用于CVD實驗,也運用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負極材料,新能源,磨具等行業測定材料在一定氣氛條件下的專業設備。旋轉管式爐和傳統的馬弗爐相比,它的最大優點在于爐管是轉動的,物樣在加工過程中,不停地翻動。因此加工質量好,效率高,并且取得的實驗數據較接近于生產狀態。由于可以連續出料,所以加工大量物樣時,更能顯示其優越性。另外旋轉回轉窯爐管的兩端采取了密封措施,所以在使用過程中還可通入氧化,還原等必要的氣氛。

二、中式連續式生產型回轉窯爐型號規格:

設備型號爐膛尺寸(mm)溫度(℃)額定功率(KW)電壓(V)
BLHG系列φ120*2000-25001100-16008-16380
BLHG系列φ160*2500-30001100-160012-30380
BLHG系列φ220*2500-40001100-160015-40380
BLHG系列φ270*2500-50001100-160020-50380
BLHG系列φ320*2500-60001100-160030-60380
BLHG系列φ370*3000-7000110030-70380
BLHG系列φ400*3000-8000110040-80380
BLHG系列φ450*4000-9000110050-100380
BLHG系列φ500*5000-9000110060-110380
BLHG系列φ550*5000-9000110070-120380
BLHG系列φ600*5000-10000110080-160380
BLHG系列φ650*5000-120001100100-240380
BLHG系列φ700*6000-120001100140-280380

注:硅片熱處理回轉窯爐可根據用戶要求另行設計制造,更多規格及參數和詳細技術方案請來電咨詢!  中式連續式生產型回轉窯有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區、雙溫區、三溫區等多種管式爐型。具有安全可靠、操作簡單、控溫正確度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區多、可選配氣氛、抽真空爐型等。聯系電話18888033558吳經理!


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