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電阻真空計的校準
電阻規管受制造材料、工藝、裝配等方面因素的影響,同型號中不同電阻規管的性能有所差異。因此,在使用新的電阻規管時需對真空計進行零點和滿度的校準,以降低測量誤差。另外真空計使用一段時間,或者是環境溫度變化較大,使真空計在大氣測量狀態下,顯示值不為105Pa,也要進行零點和滿度的校準。電阻真空計都有零點校準及滿度校準按鍵或旋鈕,按照說明書要求進行調校。一般先校準零點,再進行滿度校準。
(1)校準零點。校準零點需對被測真空系統抽真空,一旦電離規測得真空度高于1.0-1P啊(如9.9*10-2Pa),按“校零”按鈕,對應指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正零點,當顯示1.0-1Pa時,表示規管零點已校準。對于無自動零點校準的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。
(2)滿度校正。校準完零點后,需對其滿度校正。按滿度校正過程要求,對被測爐腔放入大氣,確保被校電阻規所測位置為大氣狀態,在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕,對應指示燈亮或快速閃爍,真空計自動校正滿度,當顯示1.05Pa時,表示規管滿度已校準。對于無自動滿度校準的電阻真空計,可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。
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