根據爐內真空度的高低不同，真空爐分為低真空、中真空和高真空三種。通常使用的為中真空和高真空狀態。

   按照真空爐冷卻時使用的冷卻介質不同，真空爐可分為油冷真空爐、氣淬-油冷真空爐、硝鹽浴真空爐、水淬真空爐以及氣冷真空爐幾種；按結構形式分為單室、雙室、三室和連續作業爐等。

   (1)外熱式真空爐  該類真空爐結構簡單，爐罐不需要水冷，故稱為熱壁真空爐，零件放在已抽成真空的爐罐中，從外部間接加熱。該類真空爐的特點如下：操作維修方便，造價低；爐罐內無電熱元件和隔熱材料等，易于清理，容易獲得真空；無氣體放電和其他安全隱患，可靠性好。

   (2)內熱式真空爐  內熱式真空爐依靠內部電阻加熱，其加熱元件、隔熱屏、爐床和其他構件等均裝在加熱室內，依靠電極的熱輻射實現對零件的加熱。電熱元件在爐膛的中部構成一個加熱區，確保零件的均勻加熱，在加熱元件的外部裝有金屬輻射屏或非金屬隔熱屏，爐床在加熱區的中央。內熱式真空爐的種類和形式很多，占國內外真空爐數量的80%以上，常用于退火、淬火、回火、燒結和釬焊等。同外熱式真空爐相比，具有以下特點：爐子的熱慣性下，回熱速度和冷卻速度快，熱效率與生產率較高；無耐熱爐罐，故爐膛與容量不受限制，爐內可達到更高的溫度；爐溫的均勻性好，可達±5℃，因此工件受熱均勻，零件的變形小；零件加熱期間不需要通入保護氣體，提高了加熱元件的使用壽命；爐內結構復雜，加熱區受到一定的限制；爐體體積大，需要配備的真空系統的容量要增大。

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