電爐真空系統如何操作 低真空電阻爐的真空系統，只有機械泵或由機械泵與羅茨泵組成的機組，操作相對比較簡單。真空電阻爐從大氣狀態抽到工作真空度，真空系統的操作主要分四步： 1、 羅茨泵啟動。打開前級閥，關閉主閥和預抽閥，用按鈕啟動機械泵，當低真空規管2測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時，比如小于2kPa，啟動羅茨泵。 2、 預熱擴散泵。主閥和預抽閥仍處于關閉狀態，前級泵機組對擴散泵抽真空，當低真空規管2測量擴散泵前級真空度高于規定值時，比如小于7Pa,啟動擴散泵加熱器。 3、 預抽爐內真空。先關前級閥，并停止羅茨泵，稍后打開預抽閥對爐內抽真空。爐內真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時，再啟動羅茨泵。前級泵機組對爐內抽氣，使之達到預抽真空度。 4、 抽高真空。爐內真空度達到或高于規定值，且擴散泵加熱時間到，先關預抽閥，然后開高真空閥，對爐內抽高真空，直到高真空規管測得的爐內真空度達到或高于工作真空度，才進行下一步操作。 真空系統的關閉步驟相對比較簡單，當爐子溫度減低到可關真空系統的要求時，關閉主閥，接著關閉擴散泵加熱器，但前級閥不能關閉，前級泵機組仍然工作，直到擴散泵加熱器冷卻時間到，才依次關閉前級閥和前級泵機組。